采用低溫等離子體分解油霧，廢氣等污染介質(zhì)時，等離子體中的高能離子起決定性的作用。流星雨狀的高能離子與介質(zhì)內(nèi)分子發(fā)生非彈性碰撞，將能量轉(zhuǎn)化成基態(tài)分子的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、解離、電離等一系列過程使污染介質(zhì)處于活化狀態(tài)。污染介質(zhì)在等離子體的作用下，產(chǎn)生活性自由基，活化后的污染物分子經(jīng)過等離子體定向鏈化學反應后白脫除。當離子平均能量超過污染介質(zhì)中化學鍵結(jié)合能時，分子鏈斷裂，污染介質(zhì)分解，并在等離子發(fā)生器吸附場的作用下被收集。在低溫等離子體中。可能發(fā)生各類型的化學反應，這主要取決于等離子的平均能量、離子密度‘氣體溫度、污染物介質(zhì)內(nèi)分子濃度及共存的介質(zhì)成分。該設(shè)備除塵、滅菌、去除異味、降解有機廢氣，是一款有效提高空氣清潔度的產(chǎn)品。