激光汽化切割：在高功率密度激光束的加熱下，大約40%的材料汽化成蒸汽消失，60%的材料作為噴出物從切縫底部被輔助氣體吹走，與空氣中的細小顆粒結合，形成粉塵。
激光熔化切割：當入射的激光束功率密度超過某一值后，照射處的材料開始蒸發，形成孔洞，而光速周圍的材料則被熔化。然后，與光速同軸的輔助氣流把周圍的熔融材料帶走，形成煙塵。
激光氧化切割：材料表面在激光束的照射下，很快被加熱到燃點溫度，隨之與氧氣發生激烈的燃燒反應，放出大量熱量，使材料內部形成充滿蒸汽的小孔，而小孔的周圍為熔融的金屬壁包圍所包圍，這些蒸汽和熔融物質被輔助氣流帶走，漂浮在作業車間，形成粉塵和煙霧。