光催化氧化設備內，高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生的臭氧、·OH(jing基自由基 )對e臭氣體（liu化qing、an氣、liu chun）進行協同分解氧化反應，同時大分子e臭氣體（liu化hua、an氣、liu chun）在紫外線作用下使其鏈結構斷裂，使e臭氣體物質轉化為無臭味的小分子化合物或者礦化，生成水和CO2，達標后經排風管排入大氣，整個分解氧化過程在1秒內完成。

煙塵由風機吸入光離子波段電極板凈化器，其中部分較大的油霧滴、油污顆粒在均流板上由于機械碰撞、阻留而被捕集。當氣流進入高壓靜電場時，在高壓電場的作用下，煙塵氣體電離，油霧荷電，大部分得以降解炭化；少部分微小油粒在吸附電場的電場力及氣流作用下向電場的正負極板運動被收集在極板上，經排煙口排出，余下的微米級煙塵油霧被電場降成二yang化碳和水，進而排出潔凈空氣；同時在高壓發生器的作用下，電場內的空氣產生臭氧，除去了煙氣中大部分的氣味。