晶圓防爆真空固化爐

品牌：英鵬

型號：ZK-固化系列

價格：電儀/面議

產品用途：

    本產品是一種用于半導體晶圓制造過程中對聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的設備，烘箱溫度**可達450℃

性能特點：

  1.真空度可達10 Pa

  2.精體內氧含量：≤20ppm,提供氧含量檢測接口

  3.日本優易控觸摸屏，升降溫斜率控制

  4.內腔采用耐腐蝕SUS316不銹鋼材質制作

型號  ： ZK-固化系列                                 

內箱尺寸（H*W*D)  ：  20*20*40                    30*30*60

控溫范圍：RT+20℃~450℃

溫度波動：±0.5℃

真  空 度：10pa

氧  含  量：≤20ppm

內箱材質：SuS316不銹鋼 Stainless Steel Plate

外箱材質： 鋼板靜電噴涂表面處理 Baked Painting Steel

保溫材料：硅酸鋁纖維棉 Aluminum silicate fiber cotton

保護裝置：聲光報警器 超溫保護器 Audible and visual alarm, Over Temp

功       率:   9.0    12.0

電       源　：　AC380V±10%3中50HZ